氦气压缩机是低温泵系统或其他制冷单元的核心驱动单元，用于向低温泵或其他制冷单元提供高纯度氦气。氦气压缩机主要应用于半导体前道制程设备的蒸发、溅射和离子注入的真空系统，同时在天文、航天、医疗领域也有广泛的应用。

氦气压缩机可以驱动不同尺寸的低温泵，按照法兰的口径分成：8英寸、10英寸和16英寸。氦气压缩机也可以用于不同制造商生产的低温泵。氦气压缩机广泛应用于航空航天、高压特种检测、军事领域、各种动力实验、海洋科考、油气勘探、稀有气体回收、天然气加气站、核电水电系统、市政工程、呼吸空气保护和消防安全等领域。